:::::: ¿¡½º¾ÆÀÌÅÃ(ÁÖ) :::::
 
¿¡½º¾ÆÀÌÅà Ȩ
 
 
ÇöÀ§Ä¡:: HOME > ½Ã°ø½ÇÀû > Utility System  
 
 
Çö´ëÀÇ ÁÖ¿ä »ê¾÷ÀÎ ¹ÝµµÃ¼, TFT LCD Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â GAS´Â ûÁ¤µµ ¹× ¼øµµÀ¯Áö°¡ Á¦Ç°ÀÇ Ç°Áú¿¡ °áÁ¤Àû ¿ªÈ°À» Çϰí ÀÖ´Ù.
µû¶ó¼­ ¹è°ü ½Ã°ø½Ã ¿ÜºÎ·ÎºÎÅÍ È¥ÀԵǴ °¢Á¾ À̹°ÁúÀ» öÀúÈ÷ Â÷´ÜÇØ¾ßÇÒ Çʿ伺À¸·Î ÀÏ¹Ý GAS¿Í ±¸ºÐÇÏ¿© UHP GAS(ULTRA HIGH PURITY GAS)¶ó°í ÁöĪÇÏ¸ç ±× »ç¿ëµµ¿¡ µû¶ó BULK GAS¿Í PROCESS GAS·Î ³ª´­¼ö ÀÖ´Ù.

PROCESS¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â CHEMICALÀº DIFFUSION PHOTO, ETCH, ÈİøÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ETCHING, »çÁøÇö»ó, ȸ·Îº¸È£ µî¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç À¯±â, ¹«±â CHEMICAL·Î ±¸ºÐµÈ´Ù.
À¯±â CHEMICALÀº Æø¹ß¼º ¼ºÁúÀ» °¡Áø ¸Å¿ì À§ÇèÇÑ ¹°Áú·Î È­±â¿¡ ÀÇÇÑ Æø¹ß¿¡ ÁÖÀÇÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù.
¹«±â CHEMICALÀº »ê¼º¹°ÁúÀ̹ǷΠÀÎü¿¡ Áö´ëÇÑ ¿µÇâÀ» ÁֹǷΠÃë±Þ¿¡ ÁÖÀÇÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù.

PCW´Â »ý»êÀåºñÀÇ °øÁ¤ Áß °í¿ÂÀÇ CHAMBER¸¦ ³Ã°¢½ÃÄÑ ÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» Çϸç PROCESS ÀåÄ¡ÀÇ COOLING »óŸ¦ À¯Áö½Ãų ¼ö ÀÖµµ·Ï ¾Ð·Â, À¯·®, ¿Âµµ, LINEÀÇ ³»±¸¼ºÀ» ÁÖ ¸ñÀûÀ¸·Î ½Ã°ø ¼³Ä¡ÇÑ´Ù.

Çö´ëÀÇ ÁÖ¿ä »ê¾÷ÀÎ ÀüÀÚ, ÇÕ¼º ¼¶À¯°ø¾÷, Á¦¾à, ¿øÀÚ·Â ¹ßÀü, »çÁø°ø¾÷µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹°Àº Á¦Ç°ÀÇ Ç°ÁúÀ̳ª ¿îÀü °ü¸®¿¡ °áÁ¤Àû¿ªÈ°À» Çϰí ÀÖ´Ù.
À̿Ͱ°Àº »ç¾÷¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹°Àº ±Øµµ·Î Á¤Á¦µÈ ¹°À» ÃÑĪÇÑ´Ù.
Áï, Ãʼø¼ö(ULTRA PURE WATER ¶Ç´Â DE IONIZER WATER)°¡ ´ë·® ÇÊ¿äÇϸç, Ãʼø¼öÀÇ Á¤ÀÇ´Â º¸Åë PPMÀÇ 1/1000 ´ÜÀ§ÀÎPPB(1/10¾ï)ÀÇ ¼øµµ¸¦ °®°í ÀÖ´Â ¿µ¿ªÀ» ÁöĪÇÑ´Ù.

»ý»ê°øÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýµÇ´Â ACID GAS´Â ûÁ¤½Ç³»¿¡ ¹æÄ¡µÉ°æ¿ì Àåºñ³ª Àΰ£¿¡°Ô Ä¡¸íÀûÀÎ ÇÇÇØ¸¦ À¯¹ßÇÏ´Â À¯ÇØ GASÀÌ´Ù.
µû¶ó¼­, °¢ »ý»ê LINEÀº ACID GAS·Î ºÎÅÍ Àåºñ¿Í Àΰ£ÀÌ º¸È£¹ÞÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï ACID GAS¸¦ ¿ÜºÎ·Î ¹èÃâ, ó¸® ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â SYSTEMÀ» ¸»ÇÑ´Ù.

»ý»êÀåºñ¿¡¼­ ¹ß»ýÇÏ´Â TOXIC, ORGANIC GAS ¹è±â´Â ûÁ¤½Ç ³»¿¡ ¹æÃâµÉ½Ã ³¿»õ ¹× ÀÎü¿¡ Ä¡¸íÀû ÇÇÇØ(½Ã·Â,È£Èí,ȯ°¢Àå¾Ö ¹× »ç¸Á) µîÀ» À¯¹ß½ÃÄÑ »ý»ê¿¡ Å« ¼Õ½ÇÀ» ÃÊ·¡ÇÏ°Ô µÇ¹Ç·Î ´ÚÆ®¸¦ ÅëÇØ ¿Á»ó SCRUBBER¸¦ °ÅÃÄ ¿ÜºÎ·Î ¹æÃâ ½ÃŰ´Â SYSTEMÀ» ¸»ÇÑ´Ù.

¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤½Ã ¹ß»ýµÇ´Â Æó GAS³ª À¯µ¶¼º GAS(CHEMICAL HUMµî)¸¦ VACUUM PUMP¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© 1Â÷Àû ¹è±â ¹× ÁßÈ­(1Â÷ SCRUBBER)¸¦ ½ÃŲÈÄ ´ë±âÁß¿¡ ¹æÃâ½ÃŰ´Â SYSTEMÀÌ´Ù.

»ý»êÀåºñ¿¡¼­ ¹è¼öµÇ´Â ¹°(µ¶¼ºÀÌ ¼¯Àι°, ¶Ç´Â Àç»ç¿ë ÇÒ¼ö¾ø´Â ¹°)·Î¼­ ¹è¼ö ¹è°üÀ» ÅëÇÏ¿© Æó¼öó¸®Àå±îÁö ¾ÈÀüÇÏ°Ô À̼۽ÃŰ´Â SYSTEMÀÌ´Ù.

 
¹ÝµµÃ¼ ¹× TFT LCD»ê¾÷
 
 
 
CHEMICAL Á¦Á¶»ê¾÷
 
BIO ÀǾàǰ Á¦Á¶»ê¾÷
 
÷´Ü »ê¾÷ºÐ¾ß